华体会体育app登录入口

特性和规格(Ultra C SAPS II)

最多可配至8个腔体,产能225WPH

双面清洗,最多可配5种清洗药液, 如. DHF SC1, SC2, DIO3, BOE, Solvent, HF/HNO3…

最多可回收两种药液

集成式药液供给模块

设备体积小:2.35m x 5.53m x 2.85m (宽x长x高)

特性和规格(Ultra C SAPS V)

具有所有Ultra C SAPS II设备的功能

最多可配至12个腔体, 产能375 WPH

集成式化学药液供给模块

可配高温IPA干燥的技术

设备体积小:2.35m x 6.7m x 2.85m (宽x长x高)

返回