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主要优势

小尺寸,高产能

先进的IPA干燥方式

工序可灵活编辑

无盒式(No-Cassette)50片晶圆批次处理

节能减排,降低成本


特征规格

配备先进的IPA干燥槽

配备稳定的晶圆传输系统

模块化设计,可客制化组合选配

可选配一体式清洗模块(多种化学药水与纯水在同一槽中进行工艺)

可选配兆声波清洗


关键应用

 
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