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2007

成长潜力奖

张江高科技园区

2008

工博会创新奖-12英寸65纳米单片晶圆清洗设备

中国国际工业博览会组委会

2010

中国半导体创新产品和技术

中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社

年度优秀创业者

2011

优秀参展产品奖-无应力抛铜

中国半导体行业协会、中国国际贸易促进委员会、上海集成电路行业协会

优秀创业企业

突出贡献企业

上海市张江高新技术产业开发区管理委员会、上海市人力资源和社会保障局、上海市公务员局

2012

优秀参展金奖

中国半导体行业协会、中国国际贸易促进委员会、上海集成电路行业协会

2013

创业大赛优胜企业

创业大赛组委会、上海市科技创业中心、上海市大学生科技创业基金会

科学技术奖二等奖-单片晶圆清洗设备研发与应用

上海市浦东新区人民政府

工博会铜奖-兆声波单片清洗设备

中国国际工业博览会组委会

国家高新区百新企业

中国高新技术产业导报、中国高新技术产业开发区协会、中国高新区研究中心

2016

新制程快速量产

中芯

2015年中国半导体设备十强单位

中国电子专用设备工业协会

感谢牌

海力士

2017

科学技术奖三等奖-单片晶圆涂胶设备研发与应用

上海市浦东新区人民政府

上海市专利工作试点企业

上海市知识产权局

微信年度企业

2016年中国半导体设备行业十强

中国电子专用设备工业协会

2018

2017年中国半导体设备十强单位

中国电子专用设备工业协会

中国半导体创新产品和技术奖-先进封装电镀设备

中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社

中国半导体创新产品和技术奖-TEBO

中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社

创新奖-兆声波单片清洗机

集成电路产业技术创新战略联盟

2019

2018年度优秀供应商

华力

2018年中国半导体设备五强企业

中国半导体行业协会

最佳成果奖

SK海力士

2019年卓越影响力上市企业

张江科投企业年度交流会

杰出企业

久友基金

华虹集团2019年供应商大会感谢牌

华虹集团

科技创新奖

中国国际工业博览会组委会

2018年中国半导体设备十强单位

中国电子专用设备工业协会

2018年度上海市集成电路设备业销售前十名

上海市集成电路行业协会

2020

2019年度最具潜力供应商

华力半导体

开放创新合作奖

华虹集团

中国半导体创新产品和技术奖-Tahoe

中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社

上海市集成电路先进湿法工艺设备重点实验室

上海市科学技术委员会

2019年度中国半导体设备五强企业

中国半导体行业协会

2019年度上海集成电路行业设备业前十名

上海市集成电路行业协会

上海市科学技术奖一等奖

上海市人民政府

优秀创新奖

SMIC、SMNC国产设备评审委员会

感谢牌

海力士无锡CNC技术全体成员

2021

上海职工劳动和技能竞赛二等奖

上海市总工会

上海市集成电路设备业销售前十名

行业杰出贡献奖

2020-2021年度上海设计100+入围作品

上海设计100+组委会